国产光刻机领域又传来新消息。
近日，上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生股东信息变更，持股100%的上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）退出，上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）成为威耀实业的新增全资股东，认缴出资额同样为2.285亿元。
公开资料显示，威耀实业成立于2003年，是一家从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业，此前其为上海电气控股集团成员。2016年1月，上海微电子成为其股东。
官网显示，芯上微装成立于2025年02月08日，是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。公司致力于为“超越摩尔”赛道的芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示等核心领域提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案。
有业内人士表示，芯上微装是从上海微电子分拆出的公司，核心团队来自上海微电子。此番芯上微装收购威耀实业，或许意味着其重新回到“上海微电子旗下相关资产上市平台”的定位。
企查查显示，芯上微装注册资本金1.75亿元，拥有股东29位，其中上海张江浩成创业投资有限公司（简称“张江浩成”）持股14.197%，是单一第三大股东。张江浩成是张江高科的全资子公司。
芯上微装在封装用光刻机等设备领域，颇具有实力。
官网显示，2025年8月8日，公司举办了第500台步进光刻机交付仪式。此次发运的“第500台步进光刻机”将交付给盛合晶微半导体（江阴）有限公司。盛合晶微是全球领先的集成电路晶圆级先进封测企业。
2025年11月25日，芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场。
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